氧化锆陶瓷加工表面尺寸精度没有统一的国家标准或国际标准，一般根据具体的应用领域和产品要求来确定，以下是一些常见的精度标准：

形状精度

圆度：对于氧化锆陶瓷轴类零件或圆形结构，圆度要求较高。如陶瓷轴承的滚珠或轴颈，一般要求圆度达到 0.001-0.005mm。

圆柱度：在一些需要良好配合的圆柱面，如陶瓷活塞、陶瓷轴套等，圆柱度通常控制在 0.002-0.005mm。

平面度：对于氧化锆陶瓷的平面部件，像陶瓷基板、陶瓷垫片等，平面度要求较高，一般可达到 0.002-0.01mm。

尺寸公差精度

轴类尺寸：在机械传动、精密仪器等领域的氧化锆陶瓷轴类零件，尺寸公差精度通常要求达到 IT5-IT7 级。例如，直径为 10mm 的陶瓷轴，其尺寸公差可能控制在 ±0.005mm-±0.012mm。

孔径尺寸：对于有孔的氧化锆陶瓷零件，如陶瓷模具、陶瓷传感器外壳等，孔的尺寸精度一般控制在 ±0.01-±0.05mm。当用于精密配合时，精度可达到 ±0.005mm 左右。

厚度尺寸：对于陶瓷薄片或具有厚度要求的部件，厚度尺寸公差一般控制在 ±0.01-±0.05mm。

位置精度

同心度：在一些具有旋转或配合要求的氧化锆陶瓷零件中，同心度是重要的精度指标。如氧化锆陶瓷环、陶瓷轴等，同心度一般可做到 0.002-0.005mm。

垂直度：当陶瓷零件有相互垂直的平面或轴与平面时，垂直度要求一般在 0.005-0.01mm。如陶瓷夹具、陶瓷框架等。

平行度：对于平行平面的氧化锆陶瓷零件，如陶瓷平板、陶瓷导轨等，平行度要求通常在 0.005-0.01mm。

表面粗糙度

一般功能表面：对于一些仅需要满足基本功能，对表面质量要求不是特别高的氧化锆陶瓷零件，表面粗糙度 Ra 值可能在 0.8-3.2μm。

中等精度表面：在一些需要较好的耐磨性、密封性等要求的零件表面，如陶瓷活塞、陶瓷阀门等，表面粗糙度 Ra 值一般控制在 0.2-0.8μm。

高精度表面：对于光学、电子等领域的氧化锆陶瓷零件，如陶瓷镜片、陶瓷基片等，表面粗糙度 Ra 值可达到 0.01-0.2μm。